| 1013 | Erste schriftliche Erwähnung als sorbische Siedlung |
| um 1140 | Vermutliche Entstehung einer Turmhügelburg |
| 1259 | Im Vertrag von Seußlitz tritt der Bischof von Naumburg die alte Burg Tiefenau an den Markgrafen ab; dem Bischof blieben die "Neuen Gebäude" (vermutlich eine Wasserburg) |
| 1274 | Markgraf kauft auch die "Neue Burg" |
| 1289 | Burg wird als unverlehnter markgräflicher Besitz eingezogen |
| 1306 | Mit dem Frieden von Tangermünde gewannen die Köckritze eine weitreichende Verfügungsgewalt über Tiefenau |
| 1367 | Karl IV. erwirbt die Burg als böhmischen Stützpunkt |
| 15. Jh. | Tiefenau gelangt in den Besitz der Familie Pflugk |
| 1611 | Rittergut der Familie Pflugk geht verloren; Verkauf an Abraham von Einsiedel; weitere Besitzerwechsel folgen |
| 1704 | Oberhofmarschall August Ferdinand Graf von Pflugk erwirbt Tiefenau erneut; Gestaltung einer Schloss- und Gartenlandschaft mit Rittergut, Herrenhaus und Schlosspark |
| 1712 | Oberhofmarschall August Ferdinand Graf von Pflugk stirbt |
| 1716-17 | Die Witwe des Oberhofmarschalls, Elisabeth Friederike Gräfin von Pflugk, geborene Gräfin von Stubenberg, lässt die Schlosskapelle errichten |
| 1945 | Georg von Pflugk wird enteignet; Schlossgebäude werden geplündert |
| 1948 | Zerstörung des Schlosses |
| bis 1990 | Nutzung der Scheunen und Stallungen durch das Volksgut |
| 1991-94 | Restaurierung der Schlosskapelle |
| 1996-97 | Restaurierung und Rekonstruktion der Orgel in der Schlosskapelle durch Orgelbaumeister Kristian Wegschneider |
| 2017 | Ein privater Investor aus den Niederlanden erwirbt das Objekt und plant den Ausbau zu einem Ferienressort |
| 2019 | Beginn von Sanierungsarbeiten im Rittergut |
